Múltiples gases en un dispositivo igualan la máxima flexibilidad y productividad del proceso.
Los controladores y medidores de flujo másico sellados con elastómero de la serie GF40 con la tecnología MultiFlo ™ exclusiva de Brooks Instrument brindan la opción perfecta para sistemas, procesos e instalaciones que usan una variedad de gases, cambian los tipos de gas frecuentemente o necesitan cambiar el rango mientras preservan la medición y el control del gas exactitud.
Permite un nuevo nivel de flexibilidad de proceso combinado con una medición de flujo y un rendimiento de control sin precedentes.
Caracteristicas
- Capacidades programables multi-gas / multi-rango
- La base de datos de gases Brooks® MultiFlo ™ contiene miles de ejecuciones de gas nativas para establecer funciones de corrección
- Tiempo de respuesta del flujo de menos de 1 segundo y precisión del punto de ajuste del 1% para aplicaciones exigentes
- Muy adecuado para una variedad de gases
- Respuesta rápida, sensor Hastelloy
- El puerto de servicio de diagnóstico de fácil acceso es independiente de la comunicación de la herramienta
- Las opciones de comunicación multiprotocolo incluyen las interfaces analógicas DeviceNet ™, EtherCAT® , Profibus® y RS-485
Beneficios
- La tecnología MultiFlo ™ permite nuevas calibraciones de gas y rangos de escala completa sin eliminar el MFC de la línea de gas, lo que maximiza el tiempo de actividad del proceso
- La programación MultiFlo ™ es simple y fácil de usar; Se puede seleccionar gas nuevo en menos de 60 segundos
- Los fabricantes de equipos originales (OEM) y los usuarios finales grandes pueden reducir en gran medida la cantidad de controladores específicos de rango y de gas que inventarían.
- Excelente exactitud de gas de proceso respaldada por sistemas de metrología superiores y calibración basada en estándares globales
- El sensor resistente a la corrosión proporciona una estabilidad a largo plazo inigualable que garantiza un rendimiento y un rendimiento máximos
- El puerto de servicio accesible para el usuario simplifica la resolución de problemas y las tareas de diagnóstico
- La variedad de sellos de elastómero proporciona flexibilidad de rendimiento de costos en toda la gama de aplicaciones
- La interfaz de comunicación multiprotocolo admite la integración en sistemas existentes
Aplicaciones
- Sistemas de deposición química de vapor de células solares
- Biorreactores de ciencias de la vida
- Procesos de vacío
- Fabricación de nanotecnología / MEMS
- Sistemas de recubrimiento de plasma, vidrio y tela
- Excelente opción para sistemas de suministro de múltiple / gas
Múltiples gases en un dispositivo igualan la máxima flexibilidad y productividad del proceso.
Los controladores y medidores de flujo másico sellados con elastómero de la serie GF40 con la tecnología MultiFlo ™ exclusiva de Brooks Instrument brindan la opción perfecta para sistemas, procesos e instalaciones que usan una variedad de gases, cambian los tipos de gas frecuentemente o necesitan cambiar el rango mientras preservan la medición y el control del gas exactitud.
Permite un nuevo nivel de flexibilidad de proceso combinado con una medición de flujo y un rendimiento de control sin precedentes.
Caracteristicas
- Capacidades programables multi-gas / multi-rango
- La base de datos de gases Brooks® MultiFlo ™ contiene miles de ejecuciones de gas nativas para establecer funciones de corrección
- Tiempo de respuesta del flujo de menos de 1 segundo y precisión del punto de ajuste del 1% para aplicaciones exigentes
- Muy adecuado para una variedad de gases
- Respuesta rápida, sensor Hastelloy
- El puerto de servicio de diagnóstico de fácil acceso es independiente de la comunicación de la herramienta
- Las opciones de comunicación multiprotocolo incluyen las interfaces analógicas DeviceNet ™, EtherCAT® , Profibus® y RS-485
Beneficios
- La tecnología MultiFlo ™ permite nuevas calibraciones de gas y rangos de escala completa sin eliminar el MFC de la línea de gas, lo que maximiza el tiempo de actividad del proceso
- La programación MultiFlo ™ es simple y fácil de usar; Se puede seleccionar gas nuevo en menos de 60 segundos
- Los fabricantes de equipos originales (OEM) y los usuarios finales grandes pueden reducir en gran medida la cantidad de controladores específicos de rango y de gas que inventarían.
- Excelente exactitud de gas de proceso respaldada por sistemas de metrología superiores y calibración basada en estándares globales
- El sensor resistente a la corrosión proporciona una estabilidad a largo plazo inigualable que garantiza un rendimiento y un rendimiento máximos
- El puerto de servicio accesible para el usuario simplifica la resolución de problemas y las tareas de diagnóstico
- La variedad de sellos de elastómero proporciona flexibilidad de rendimiento de costos en toda la gama de aplicaciones
- La interfaz de comunicación multiprotocolo admite la integración en sistemas existentes
Aplicaciones
- Sistemas de deposición química de vapor de células solares
- Biorreactores de ciencias de la vida
- Procesos de vacío
- Fabricación de nanotecnología / MEMS
- Sistemas de recubrimiento de plasma, vidrio y tela
- Excelente opción para sistemas de suministro de múltiple / gas